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发布时间:2020-07-05 02:18:42
过滤器DOP(PAO)检漏法在洁净室中的应用
按照气溶胶光度计操作要求进行初始化、设定报警值。将UPSTREAM采样管与上游采样口相连,测量上游气溶胶的浓度。按照气溶胶发生器操作要求调节发生的气溶胶浓度,使上游气溶胶浓度达到10 mg/L~30 mg/L。
扫描检漏卸下HEPA的散流板,对整个过滤器面、过滤器与边框之间、边框与边框之间以及边框与静压箱之间的密封进行扫描。
过滤器DOP(PAO)检漏法在洁净室中的应用
在20 Pa工作压力下,气流速率为50~2025 f3/min时,可产生10μg/mL~100μg/mL 浓度的多分散性亚微米级油尘气溶胶。使用的气溶胶光度 计为ATI 2H型光度计,动态测量范围为0.00005 μg/L ~120μg/L,采样流量为lf3/min(28.3 L/min)。在待测HEPA上游一侧引入PAO气溶胶于HVAC 系统中的HEPA,为使气溶胶到达HEPA时的浓度均匀。
过滤器DOP(PAO)检漏法在洁净室中的应用
粒径分布在0.1μm ~0.3μm。冷发生器是指利用压缩空气在液体中鼓气泡,无尘车间厂,经laskin喷管飞溅产生物态的多分散相DOP(PAO)气溶胶,合肥无尘车间,分布粒径在0.65μm左右。对过滤器进行扫描检漏时,经常使用冷DOP(PAO)。
检测仪器有两种,一种是气溶胶光度计,另一种是粒子计数器,过滤器检漏中常用的检测仪器是气溶胶光度计(以下简称光度计)。
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