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过滤器DOP（PAO）检漏法在洁净室中的应用

过滤器（HEPA）一般是指对粒径≥0.3μm粒子的捕集效率在99.97%以上的过滤器，通常作为企业洁净室的末端过滤装置，用以提供洁净的空气。洁净室是否能达到和保持设计的洁净级别在一定程度上与过滤器的性能及其安装有关。因此对洁净车间 的过滤 器进行检漏测试，确保其符合要求，是保证车间洁净环境的重要手段之一。

在20 Pa工作压力下，气流速率为50~2025 f3/min时，可产生10μg/mL~100μg/mL 浓度的多分散性亚微米级油尘气溶胶。使用的气溶胶光度 计为ATI 2H型光度计，动态测量范围为0.00005 μg/L ~120μg/L，采样流量为lf3/min（28.3 L/min）。在待测HEPA上游一侧引入PAO气溶胶于HVAC 系统中的HEPA，为使气溶胶到达HEPA时的浓度均匀。

注意在检测过程中应 带防护面罩和防护眼罩。

用PAO扫描检漏的结果，制药公司新建的制药生产车间，净化级别为D级的净化空调系统送风口进行的PAO扫描检漏测试，所购的过滤器是中建南方的产品，规格有GB02、GB01，气溶胶光度计是TDA-2H，（PAO）气溶胶发生器是在用PAO对55套过滤器（GB02、GB01）所进行扫描检漏测试中。